1. Buyer
1.1.
Buyer
Official name: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Legal type of the buyer: Body governed by public law
Activity of the contracting authority: Education
2. Procedure
2.1.
Procedure
Title: Dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego
Description: Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego (ang. VHF – Vapor Hydrofluoric acid etching system).
Procedure identifier: bdbc66be-88cc-4822-b2b2-821e5c638e5c
Internal identifier: CEZAMAT/ZP22/2026
Type of procedure: Open
The procedure is accelerated: no
2.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 38500000 Checking and testing apparatus
2.1.2.
Place of performance
Town: Warszawa
Country subdivision (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Country: Poland
2.1.4.
General information
Additional information: Dokumenty i oświadczenia wymagane od Wykonawców określa SWZ. Oświadczenie o niepodleganiu wykluczeniu z postępowania na podstawie art. 5k rozporządzenia Rady (UE) nr 833/2014 i art. 7 Ustawy o szczególnych rozwiązaniach w zakresie przeciwdziałaniu wspierania agresji na Ukrainę należy złożyć wraz ofertą. Pozostałe podmiotowe środki dowodowe (w tym JEDZ) składa tylko Wykonawca, którego oferta została najwyżej oceniona na wezwanie Zamawiającego. Zgodnie z art. 257 pkt 1 Pzp, Zamawiający przewiduje możliwość unieważnienia przedmiotowego postępowania, jeżeli środki, które Zamawiający zamierzał przeznaczyć na sfinansowanie całości lub części zamówienia, nie zostały mu przyznane. Wraz z ofertą Wykonawca zobowiązany jest złożyć przedmiotowy środek dowodowy potwierdzający spełnianie przez oferowany przedmiot zamówienia parametrów i funkcjonalności wskazanych przez Zamawiającego w kryteriach oceny ofert, tj.: selektywność procesu trawienia warstwy LPCVD SiO₂ względem warstwy PECVD SiN, rozumiana jako stosunek szybkości trawienia LPCVD SiO₂ do szybkości trawienia PECVD SiN. Przedmiotowy środek dowodowy musi jednoznacznie identyfikować oferowany produkt, w szczególności poprzez wskazanie jego producenta, modelu lub typu, oraz potwierdzać parametry i funkcjonalności będące podstawą oceny oferty w kryteriach oceny ofert. Przedmiotowym środkiem dowodowym może być w szczególności karta katalogowa, specyfikacja techniczna producenta, instrukcja obsługi, dokumentacja techniczna, raport z badań, wynikami testów lub innym dokumentem wskazującym wartość selektywności trawienia lub inny dokument wystawiony przez producenta albo jego upoważnionego przedstawiciela, pozwalający na jednoznaczne potwierdzenie wymaganych parametrów i funkcjonalności. Zamawiający informuje, że wezwie do złożenia lub uzupełnienia przedmiotowych środków dowodowych, jeżeli wykonawca nie złożył przedmiotowych środków dowodowych wraz z ofertą lub złożone przedmiotowe środki dowodowe są niekompletne.
Legal basis:
Directive 2014/24/EU
2.1.6.
Grounds for exclusion
Sources of grounds for exclusion: Procurement Document
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Title: Dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego
Description: 1. Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego (ang. VHF – Vapor Hydrofluoric acid etching system). 2. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia określony został w załączniku nr 2 do SWZ – Opis przedmiotu zamówienia.
5.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 38500000 Checking and testing apparatus
Options:
Description of the options: Zamawiający przewiduje prawo opcji polegające na rozszerzeniu zakresu zamówienia według poniższego zestawienia: 1) Monitor końca procesu (end point detection) – funkcja odpowiedzialna za nadzór nad parametrami końcowymi procesu, analizę warunków zakończenia cyklu oraz automatyczną identyfikację osiągnięcia zdefiniowanych wartości granicznych. 2) Opcja wysokiej selektywności procesu (selektywność względem azotku) – rozszerzenie procesowe zwiększające kompatybilność materiałową, w szczególności w odniesieniu do warstw SiN, poprzez poprawę rozróżnienia pomiędzy materiałem obrabianym a azotkiem krzemu. Warunki realizacji prawa opcji zostały określone w załączniku nr 3 do SWZ- wzór umowy.
5.1.2.
Place of performance
Postal address: ul. Poleczki 19
Town: Warszawa
Postcode: 02-822
Country subdivision (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Country: Poland
5.1.3.
Estimated duration
Duration: 32 Weeks
5.1.6.
General information
Reserved participation:
Participation is not reserved.
Participation is not reserved.
The names and professional qualifications of the staff assigned to perform the contract must be given: Not required
Procurement Project fully or partially financed with EU Funds.
Information about European Union funds:
EU funds programme: Horizon Europe – the Framework Programme for Research and Innovation (2021/2027)
Identifier of EU funds: Projekt 101213727
The procurement is covered by the Government Procurement Agreement (GPA): yes
Additional information: Zamawiający żąda od Wykonawców wniesienia wadium w wysokości 20 000,00 zł.
5.1.9.
Selection criteria
Sources of selection criteria: Procurement Document
5.1.10.
Award criteria
Criterion:
Type: Price
Name: Cena - C
Description: Cena oferty - C - 60 pkt
Criterion:
Type: Quality
Name: Gwarancja - G
Description: Gwarancja - G - 20 pkt
Criterion:
Type: Quality
Name: Selektywność trawienia LPCVD SiO₂ względem PECVD SiN - S
Description: Selektywność trawienia LPCVD SiO₂ względem PECVD SiN - S - 20 pkt
5.1.11.
Procurement documents
Ad hoc communication channel:
Name: Platforma zakupowa
5.1.12.
Terms of procurement
Terms of submission:
Electronic submission: Required
Languages in which tenders or requests to participate may be submitted: English, Polish
Electronic catalogue: Not allowed
Advanced or qualified electronic signature or seal (as defined in Regulation (EU) No 910/2014) is required
Variants: Not allowed
Deadline for receipt of tenders: 29/09/2026 11:00:00 (UTC+00:00) Western European Time, GMT
Duration during which the tender must remain valid: 90 Days
Information about public opening:
Opening date: 29/09/2026 11:15:00 (UTC+00:00) Western European Time, GMT
Additional information: Otwarcie odbywa się na platformie elektronicznej. Niezwłocznie po otwarciu ofert zamawiający opublikuje informacje z otwarcia.
Terms of contract:
The execution of the contract must be performed within the framework of sheltered employment programmes: No
Conditions relating to the performance of the contract: Warunki realizacji zamówienia zostały określone w w projektowanych postanowieniach umowy stanowiących załącznik nr 3 do SWZ.
Electronic invoicing: Allowed
Electronic ordering will be used: no
Electronic payment will be used: no
5.1.15.
Techniques
Framework agreement:
No framework agreement
Information about the dynamic purchasing system:
No dynamic purchase system
5.1.16.
Further information, mediation and review
Review organisation: Krajowa Izba Odwoławcza
Information about review deadlines: Odwołanie wnosi się w terminie 10 dni od dnia przekazania informacji o czynności zamawiającego stanowiącej podstawę jego wniesienia, jeżeli informacja została przekazana przy użyciu środków komunikacji elektronicznej. Szczegółowe informacje dotyczące przysługujących wykonawcy środków ochrony prawnej zawiera dział IX ustawy Pzp.
Organisation receiving requests to participate: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Organisation processing tenders: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Official name: Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii CEZAMAT Politechniki Warszawskiej
Registration number: 5250005834
Department: Zamówienia publiczne
Postal address: ul. Poleczki 19
Town: Warszawa
Postcode: 02-822
Country subdivision (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Country: Poland
Contact point: Sekretariat
Telephone: +48 (22) 182 10 22
Roles of this organisation:
Buyer
Organisation receiving requests to participate
Organisation processing tenders
8.1.
ORG-0002
Official name: Krajowa Izba Odwoławcza
Registration number: 5262239325
Postal address: ul. Postępu 17A
Town: Warszawa
Postcode: 02-676
Country subdivision (NUTS): Miasto Warszawa (PL911)
Country: Poland
Contact point: Sekretariat Biura Odwołań
Telephone: +48224587801
Fax: +48224587800
Roles of this organisation:
Review organisation
8.1.
ORG-0000
Official name: Publications Office of the European Union
Registration number: PUBL
Town: Luxembourg
Postcode: 2417
Country subdivision (NUTS): Luxembourg (LU000)
Country: Luxembourg
Telephone: +352 29291
Roles of this organisation:
TED eSender
Notice identifier/version: 7634d797-36ac-42d8-9095-2b2d9c272cda - 01
Form type: Competition
Notice type: Contract or concession notice – standard regime
Notice subtype: 16
Notice dispatch date: 26/08/2026 11:53:47 (UTC+00:00) Western European Time, GMT
Languages in which this notice is officially available: Polish
Notice publication number: 592446-2026
OJ S issue number: 165/2026
Publication date: 27/08/2026