593298-2026 - Competition
Germany – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
OJ S 165/2026 27/08/2026
Contract or concession notice – standard regime
Supplies
1. Buyer
1.1.
Buyer
Official name: Universität Heidelberg
Email: vergabe@zuv.uni-heidelberg.de
Legal type of the buyer: Body governed by public law, controlled by a regional authority
Activity of the contracting authority: Education
2. Procedure
2.1.
Procedure
Title: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
Description: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
Procedure identifier: 78eceae5-a1b9-4dad-af29-f5dd2848df64
Internal identifier: Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP
Type of procedure: Open
The procedure is accelerated: no
2.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
2.1.2.
Place of performance
Town: Heidelberg
Country subdivision (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Country: Germany
2.1.4.
General information
Additional information: #Bekanntmachungs-ID: CXR6YYVY45S#
Legal basis: 
Directive 2014/24/EU
vgv -
2.1.6.
Grounds for exclusion
Sources of grounds for exclusion: Notice
Participation in a criminal organisation: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Terrorist offences or offences linked to terrorist activities: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Money laundering or terrorist financing: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Fraud: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Corruption: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Child labour and including other forms of trafficking in human beings: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Breaching obligation relating to payment of taxes: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Breaching obligation relating to payment of social security contributions: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Breaching of obligations in the fields of environmental law: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Breaching of obligations in the fields of social law: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Breaching of obligations in the fields of labour law: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Insolvency: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Assets being administered by liquidator: Es gelten die zwingenden bzw. fakultativen Ausschlussgründe gem. §§ 123 bis 126 GWB. Details zu den Ausschlussgründen sind im Abschnitt "EIGENERKLÄRUNG" der Vergabeunterlagen zu entnehmen. Mit Angebotsabgabe ist die vollständig und zweifelsfrei ausgefüllte "EIGENERKLÄRUNG" in Textform gemäß § 126b BGB zu übermitteln.
Business activities are suspended: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Analogous situation like bankruptcy, insolvency or arrangement with creditors under national law: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Grave professional misconduct: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Agreements with other economic operators aimed at distorting competition: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Conflict of interest due to its participation in the procurement procedure: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Direct or indirect involvement in the preparation of this procurement procedure: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Early termination, damages, or other comparable sanctions: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
Misrepresentation, withheld information, unable to provide required documents or obtained confidential information of this procedure: Es gelten die Regelungen wie im Abschnitt "Insolvenz" beschrieben.
5. Lot
5.1.
Lot: LOT-0001
Title: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
Description: Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.
Internal identifier: Uni-HD.2026.642_Gasphasenabscheidungsanlage-ICP-PECVD_KIP
5.1.1.
Purpose
Main nature of the contract: Supplies
Main classification (cpv): 38000000 Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
5.1.2.
Place of performance
Town: Heidelberg
Country subdivision (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Country: Germany
5.1.3.
Estimated duration
Other duration: Unknown
5.1.6.
General information
Reserved participation: 
Participation is not reserved.
The names and professional qualifications of the staff assigned to perform the contract must be given: Not required
Procurement Project not financed with EU Funds.
The procurement is covered by the Government Procurement Agreement (GPA): yes
This procurement is also suitable for small and medium-sized enterprises (SMEs): no
Additional information: Bieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht) Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können, müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt "Fristen des Vergabeverfahrens" angegebenen Frist über den Projektraum des "Vergabemarktplatzes Baden-Württemberg" (VMP) in der Rubrik: Kommunikation eingereicht werden. Für die komplette Kommunikation zwischen Bietern und der Vergabestelle wird auf den Bereich "Kommunikation" im Projektraum des Vergabemarktplatzes Baden-Württemberg verwiesen; insbesondere werden an dieser Stelle Bieterfragen und deren Beantwortung durch die Vergabestelle veröffentlicht. Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen und Informationen der Vergabestelle erfolgen über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg; siehe hierzu Abschnitt "Kommunikation". Die Bieter sind verpflichtet, sich regemäßig bis zum Ende der Angebotsfrist selbst über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren (Holschuld des Bieters). Die für dieses Vergabeverfahren freigeschalteten und somit registrierten Bieter werden automatisch über neue Informationen oder Änderungen durch die Vergabestelle informiert.
5.1.7.
Strategic procurement
Aim of strategic procurement: No strategic procurement
5.1.9.
Selection criteria
Sources of selection criteria: Notice
Criterion: Enrolment in a trade register
Description of selection criterion: Eintragung in einem Handelsregister Der Wirtschaftsteilnehmer ist in den einschlägigen Handelsregistern seines Niederlassungsmitgliedstaats verzeichnet;

Criterion: Other economic or financial requirements
Description of selection criterion: Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe, mindestens aber mit einer Deckungssumme von: - 2.500.000 EUR für Personenschäden - 1.000.000 EUR für Sach- und Vermögensschäden pro Schadensfall abgeschlossen. Die Gesamtleistung für alle Versicherungsfälle eines Versicherungsjahres beträgt das 2-fache der vereinbarten Versicherungssumme.

Criterion: References on specified deliveries
Description of selection criterion: Nur bei öffentlichen Lieferaufträgen: Ausführung von Lieferungen der genannten Art Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind. drei folgenden wesentlichen Lieferungen der genannten Art ausgeführt. Eine wertbare Referenz muss mindestens folgende wesentliche Kriterien erfüllen: - Anzugebender Zeitraum: 2021-2025

Criterion: Certificates by independent bodies about quality assurance standards
Description of selection criterion: Qualitätssicherungssysteme und Umweltmanagementnormen Bescheinigungen unabhängiger Stellen über Qualitätssicherungsnormen Wird der Wirtschaftsteilnehmer in der Lage sein, Bescheinigungen unabhängiger Stellen darüber vorzulegen, dass er die vorgegebenen Qualitätssicherungsnormen erfüllt? z. B. Ein offiziell installiertes und strukturell integriertes professionelles Qualitätsmanage-ment nach ISO 9001 oder Vergleichbares?
5.1.10.
Award criteria
Criterion: 
Type: Quality
Name: UfAB-Methode
Description: Bewertung nach der UfAB-Methode: Der Zuschlag wird gemäß § 127 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Im vorliegenden Fall erfolgt die Bewertung der Wirtschaftlichkeit auf Grundlage des Leistungs-Preis-Verhältnisses unter Anwendung der "Erweiterten Richtwertmethode" gemäß UfAB 2018.04 (Stand: April 2018). Das wirtschaftlichste Angebot wird dabei anhand folgender Formel ermittelt: Z(Angebot) = L / P = Leistungspunktzahl / Gesamtwertungspreis
Category of award weight criterion: Weight (points, exact)
Award criterion number: 100
5.1.11.
Procurement documents
Languages in which the procurement documents are officially available: German
Deadline for requesting additional information: 25/09/2026 23:59:59 (UTC+02:00) Eastern European Time, Central European Summer Time
Address of the procurement documents: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXR6YYVY45S/documents
Ad hoc communication channel: 
URL: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXR6YYVY45S
5.1.12.
Terms of procurement
Terms of submission: 
Electronic submission: Required
Address for submission: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXR6YYVY45S
Languages in which tenders or requests to participate may be submitted: German
Electronic catalogue: Not allowed
Variants: Not allowed
Tenderers may submit more than one tender: Not allowed
Deadline for receipt of tenders: 05/10/2026 10:00:00 (UTC+02:00) Eastern European Time, Central European Summer Time
Duration during which the tender must remain valid: 42 Days
Information that can be supplemented after the submission deadline: 
At the discretion of the buyer, some missing tenderer-related documents may be submitted later.
Additional information: Nachforderung Eignungsnachweise Zum Nachweis der Eignung des Bieters wird die Vorlage einer Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung ("European Single Procurement Document") verlangt. Mit dieser Eigenerklärung entfällt die Vorlage von Nachweisen mit Abgabe seines Angebotes. Der öffentliche Auftraggeber kann jedoch trotz Übermittlung der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung Bewerber oder Bieter jederzeit während des Verfahrens auffordern, sämtliche oder einen Teil der aus der Eigenerklärung geforderten Unterlagen beizubringen, wenn dies zur angemessenen Durchführung des Verfahrens erforderlich ist. Mindestens jedoch muss der Bieter oder Bewerber an den der Auftrag vergeben werden soll, alle geforderten Unterlagen der Eigenerklärung vor Zuschlagserteilung vorlegen.
Information about public opening: 
Opening date: 05/10/2026 10:05:00 (UTC+02:00) Eastern European Time, Central European Summer Time
Place: Es findet keine öffentliche Submission statt.
Terms of contract: 
The execution of the contract must be performed within the framework of sheltered employment programmes: No
Conditions relating to the performance of the contract: Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zoll und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zollgebühren sind Bestandteil des Grenzwerts.
Electronic invoicing: Required
Electronic ordering will be used: yes
Electronic payment will be used: yes
5.1.15.
Techniques
Framework agreement: 
No framework agreement
Information about the dynamic purchasing system: 
No dynamic purchase system
5.1.16.
Further information, mediation and review
Review organisation: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Information about review deadlines: Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfristen nach § 160 GWB hingewiesen: Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.
Organisation providing additional information about the procurement procedure: Universität Heidelberg
Organisation providing more information on the review procedures: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Organisation receiving requests to participate: Universität Heidelberg
8. Organisations
8.1.
ORG-0001
Official name: Universität Heidelberg
Registration number: 08-A3529-39
Postal address: Seminarstraße 2
Town: Heidelberg
Postcode: 69117
Country subdivision (NUTS): Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Country: Germany
Contact point: Vergabestelle
Email: vergabe@zuv.uni-heidelberg.de
Telephone: +49 6221-5412456
Fax: +49 6221-541612220
Internet address: https://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html
Buyer profile: https://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html
Roles of this organisation: 
Buyer
Organisation providing additional information about the procurement procedure
Organisation receiving requests to participate
8.1.
ORG-0002
Official name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Registration number: 08-A9866-40
Postal address: Durlacher Allee 100
Town: Karlsruhe
Postcode: 76137
Country subdivision (NUTS): Karlsruhe, Stadtkreis (DE122)
Country: Germany
Contact point: Referat 15 Vergabekammer
Email: vergabekammer@rpk.bwl.de
Telephone: +49 721926-8730
Fax: +49 721926-3985
Internet address: https://rp.baden-wuerttemberg.de/rpk/Abt1/Ref15/Seiten/default.aspx
Roles of this organisation: 
Review organisation
Organisation providing more information on the review procedures
8.1.
ORG-0003
Official name: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Registration number: 0204:994-DOEVD-83
Town: Bonn
Postcode: 53119
Country subdivision (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Country: Germany
Email: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telephone: +49228996100
Roles of this organisation: 
TED eSender
Notice information
Notice identifier/version: efc15997-e367-4765-832e-0ecf694e8470  -  01
Form type: Competition
Notice type: Contract or concession notice – standard regime
Notice subtype: 16
Notice dispatch date: 25/08/2026 16:47:01 (UTC+02:00) Eastern European Time, Central European Summer Time
Languages in which this notice is officially available: German
Notice publication number: 593298-2026
OJ S issue number: 165/2026
Publication date: 27/08/2026