11c96ba3-7a9b-456b-b9bf-c7a60fb31bd2-01 cor-pub Aktualisierung des LV's 16 true false true https://vergabe.fraunhofer.de/ ORG-7001 Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Hansastraße 27c München 80686 DE212 DEU DE 129515865 Einkauf Wissenschaftliche Geräte +49891205-0 einkauf@zv.fraunhofer.de ORG-7004 Vergabekammern des Bundes Kaiser-Friedrich-Straße 16 Bonn 53113 DEA22 DEU t:022894990 +49 228 9499-0 vk@bundeskartellamt.bund.de https://www.fraunhofer.de ORG-7005 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hansastraße 27c München 80686 DE212 DEU DE 129515865 +49 89 1205-0 einkauf@zv.fraunhofer.de ORG-7006Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Bonn53119DEA22DEU0204:994-DOEVD-83+49228996100noreply.esender_hub@bescha.bund.de 00334988-2024109/20242024-06-06Z 2.3 eforms-sdk-1.7 3196f8a0-e676-4b2b-b6ba-aebae826d0d0 0e11634f-00c3-4348-97e9-a871e12c2d2f 2024-06-05+02:00 13:13:45+02:00 01 2024-06-05+02:00 32014L0024 cn-standard DEU https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ pub-undert gen-pub ORG-7001 ted-esenORG-7006 vgv CrossBorderLaw bankr-nat --- bankruptcy --- corruption --- cred-arran --- crime-org --- distorsion --- envir-law --- finan-laund --- fraud --- human-traffic --- insolvency --- labour-law --- liq-admin --- misrepresent --- partic-confl --- prep-confl --- prof-misconduct --- sanction --- socsec-law --- socsec-pay --- susp-act --- tax-pay --- terr-offence --- nati-ground --- neg-w-call false PR637844-2270-W Abscheideanlage-/Cluster für 200mm Wafer (CMOS) - PR637844-2270-W Abscheideanlage-/Cluster für 200mm Wafer (CMOS) supplies 31712330 DE212 DEU LOT-0000 sui-act true ef-stand true tp-abil true other Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18f9af50e4b-62d252cecb8b2d46 true false not-allowed no-eu-funds not-requ false allowed TenderDoc non-restricted-document DEU https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18f9af50e4b-62d252cecb8b2d46& late-all Siehe Vergabeunterlagen none Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. no required not-allowed false per-exa 50.00 quality Technische Ausführung per-exa 15.00 quality Lieferzeit per-exa 35.00 price Preis ORG-7001 https://vergabe.fraunhofer.de Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). ORG-7005 ORG-7004 DEU false false allowed false true 2024-06-24+02:00 10:30:00+02:00 false none none LOT-0000 Abscheideanlage-/Cluster für 200mm Wafer (CMOS) - PR637844-2270-W 1 Stück Abscheideanlage-/Cluster für 200mm Wafer (CMOS) Das Aufdampfcluster soll eine CMOS-kompatible Kombination aus Abscheidungen dünner Schichten und Vorbehandlungen ermöglichen. Ziel der Vorbehandlung ist die Entfernung von Feuchte & oberflächlichen Adsorbaten nach nasschemischen Prozessen, sowie die Entfernung von oberflächlichen Oxiden ohne einer Schädigung der oberflächlichen Schichten. Darüber hinaus soll das Cluster erweiterbar sein mit einer Kammer für die Plasmaunterstützte Oxidation von 200mm Wafern. Hauptanwendung des Aufdampfmoduls wird die gerichtete Abscheidung von Metallen mittels Verdampfung sein. Anwendungsbereich wird u.a. die Herstellung supraleitender Schichten sein, die u.A. in modernsten Quantentechnologien zum Einsatz kommen. Das Cluster wird darüberhinaus erweiterbar sein durch zusätzliche Module (zB Plasmamodul) um einen weitreichenden Anwendungsbereich abzudecken. Das Cluster ermöglicht eine State-of-the-art Prozessierung von Quanten-Bauteilen, wie supraleitenden Qubits Optionen: -1.5. Ein nachträglich in das System integrierbares Abkühlmodul ist, wenn möglich anzubieten (Art der Kühlung, Lage im System). 2.3. "Optional soll angeboten werden, wie kleinere Waferformate (100mm & 150mm) Wafern mit Hilfe eines Carrier-Systems gehandelt werden können. " 5.18.Optional ist ein Massenspektrometer zur Restgaskontrolle anzubieten. 10.3. Als Option ist ein Ersatzteilkit gemäß üblicher Ersatzteillisten (wöchentlich, monatlich, viertel-/halbjährlich, jährlich) anzubieten für einen 24/7 Betrieb. Das Kit soll alle typischen Ersatzteile enthalten, um den reibungslosen Betrieb der Anlage über eine Laufzeit von 24 Monaten gewährleisten zu können. 10.7. Als Option sollen zusätzliche Trainingsschulungen für Operator und Prozessingenieure (für mindestens 3 Personen) angeboten werden. 10.12. Eine Erweiterung der Garantie auf 24 Monate soll möglich und im Angebot als Option mit separatem Preis ausgewiesen sein. supplies false none 31712330 DE212 DEU