16ORG-0001Friedrich-Schiller-Universität JenaJena07743DEG03DEUDE150546536000vergabestelle@uni-jena.deORG-0002Thüringer Landesverwaltungsamt - VergabekammerWeimar99423DEG05DEU111110361 57332 1254vergabekammer@tlvwa.thueringen.deORG-0003Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Bonn53119DEA22DEU0204:994-DOEVD-83+49228996100noreply.esender_hub@bescha.bund.de00737448-2024235/20242024-12-03+01:002.3eforms-sdk-1.104efd1b54-3f2e-4848-9ce9-507518391f7a50facca7-c22c-4792-bd51-028f3a5657f82024-12-02+01:0000:00:00+01:00012024-12-02+01:0032014L0024cn-standardDEUbody-pl-raeducationORG-0001ted-esenORG-0003vgvnati-groundDer Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen.openfalseEU-OV/2024-71ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.supplies82500038000000DEG03DEULOT-0001sui-act• Unternehmensdarstellung o Allgemeine Unternehmensdarstellung o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr. o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auf-traggeber betreuen würde) o Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse o Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige o Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc. • Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig istef-stand#Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches. Mindestanforderung: Der Auftraggeber sieht nur Bieter als fachlich geeignet an, die im Mittel der letzten 3 Geschäftsjahre jährlich mindestens 1.650.000 EUR im benannten Geschäftsbereich umgesetzt haben. #Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung einschließlich der Angabe der Deckungssummen. Mindestanforderung: Die Betriebshaftpflichtversicherung hat mindestens folgende Deckungssummen (bei mindestens zweifacher Maximierung je Versicherungsjahr) pro Schadensfall aufzuweisen: Personenschäden: 1.000.000 €, Sach- und Umweltschäden 500.000 €, Vermögensschäden 100.000 €. Sollte die Betriebshaftpflichtversicherung die vorgenannten Deckungssummen derzeit nicht erreichen oder noch keine Betriebshaftpflichtversicherung abgeschlossen sein, so ist der Bieter verpflichtet, im Falle der Zuschlagserteilung die Deckungssummen entspre-chend zu erhöhen bzw. abzuschließen.tp-abil#Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3) Referenzaufträge der letzten 3 Geschäftsjahre mit dem Angebot vorzulegen. Der jeweilige Referenzauftrag muss mit der im vorliegenden Ausschreibungsverfahren zu vergebender Leistung inhaltlich (= Lieferung Geräteausstattungen wie beschrieben) und vom Komplexitätsgehalt (= Leistungsanforderungen gemäß Anlage 2) mindestens vergleichbar sein. Nur vergleichbare Referenzen können im Rahmen der Eignungsprüfung berücksichtigt werden. Die Referenzen müssen mindestens die folgenden Angaben enthalten: Name des Unternehmens (Referenzgeber) Ansprechpartner beim Referenzgeber (Name, Telefon, E-Mail) Art der ausgeführten Leistung Ausführungszeitraum / Vertragslaufzeit Die o.g. Referenzangaben sind mit dem Angebot vorzulegen.falsenot-allowedeu-fundsnot-allowedDEU-non-restricted-documenthttps://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=734643Die Finanzierung erfolgt aus terminlich begrenzt zur Verfügung stehenden Mitteln. Daher ist hier eine Teilvorauszahlung nach Zuschlagserteilung gegen Vertragserfüllungsbürgschaft noch im Jahr 2025 vorgesehen. Der Bieter hat dies bei der Kalkulation seines Angebotspreises zu berücksichtigen, Diese Erfüllungsbürgschaft muss die Absicherung durch eine selbstschuldnerische, unbedingte und unbefristete Bürgschaft eines europäischen Kreditinstituts erfüllen und inhaltlich wie folgt gestaltet sein: Zinsen und Kosten eingeschlossen, unter Verzicht auf die Einreden der Anfechtbarkeit, der Aufrechenbarkeit und der Vorausklage gemäß § 770, 771 BGB. Eine Rückgabe der Bürgschaft kann nach erfolgter Leistungserbringung und mängelfreier Abnahme erfolgen.nonelate-allErfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes. Eigenerklärungen: • Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1) • Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5) • Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6) • Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7) Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).not-allowedrequirednoGesamtangebotspreis (netto; ohne Berücksichtigung von bedingten Rabatten, wie z. B. Skonto; soweit der Auftraggeber im Rahmen der Lieferung Einfuhrabgaben (Zollgebühren) zu entrichten hat, werden diese Kosten bei der Wertung berücksichtigt).https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=7309923ORG-0002DEUtruetruerequiredtrue2025-01-09+01:0010:00:00+01:002025-01-09+01:0010:05:00+01:00falsenonenoneEU-OV/2024-71ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.Auftragsgegenstand ist eine ICP-RIE-Plasmaätzanlage für die Strukturierung mikro- und nanooptischer Elemente, konkret proportionales und binäres Plasmaätzen in dielektrische, halbleitende Materialien und Funktionsschichten (Quarzglas /fused silica, Silizium, SiOxNy , Siliziumkarbid, hochbrechende Materialien, wie Ta2O5, Nb2O5, etc.) mittels Fluor-basierter Reaktivgasprozesse auch bei, aber nicht ausschließlich kryogenen Temperaturen um -130°C. Die Anlage mit Beladeschleuse (Loadlock, LL) muss das Prozessieren variabler Substratgrößen mittels Carrier ohne großen Bearbeitungs und Zeitaufwand ermöglichen. Ein schneller, variabler Wechsel der Substratelektrodenkühlung zwischen Kühlung mittels Tiefkältethermostat und Flüssig-Stickstoff ist anzustreben. Zumindest muss aber die Möglichkeit einer nachträglichen Umrüstung auf Flüssigstickstoffkühlung ohne bauliche Änderung an der Substratelektrode gegeben sein. Weiteres siehe Anlage 2.suppliesfalsenone38000000DEG03DEUUNKNOWN