186725-2021 - ResultatSverige-Stockholm: Elektriska maskiner, apparater och förbrukningsvaror samt elektrisk utrustning; belysning
OJ S 74/2021 16/04/2021
Meddelande om tilldelning av kontrakt
Varor
Rättslig grund:
direktiv 2014/24/EU

Avsnitt I: Upphandlande myndighet

I.1.
Namn och adresser
Officiellt namn: Kungliga Tekniska högskolan
Nationellt registreringsnummer: 202100-3054
Postadress: Brinellvägen 8
Ort: Stockholm
Nuts-kod: SE11 Stockholm
Postnummer: 100 44
Land: Sverige
Kontaktperson: Karin Edoff
E-post: kedoff@kth.se
Internetadress(er):
Allmän adress: http://www.kth.se
I.4.
Typ av upphandlande myndighet
Statligt organ eller förbundsorgan
I.5.
Huvudsaklig verksamhet
Utbildning

Avsnitt II: Föremål

II.1.
Upphandlingens omfattning
II.1.1.
Benämning på upphandlingen
Fluorine-CryoRIE System
Referensnummer: V-2020-0368
II.1.2.
Huvudsaklig CPV-kod
31000000 Elektriska maskiner, apparater och förbrukningsvaror samt elektrisk utrustning; belysning
II.1.3.
Typ av kontrakt
Varor
II.1.4.
Kort beskrivning
KTH and Albanova Nanolab intends to purchase a new RIE/ICP system (equipped with load-lock and cryo-stage) dedicated to fluorine based processing. The main use of the tool will be to reactively etch dielectrics, metals, and various superconductors, as well as low pressure argon milling of inert materials. The system should be able to perform high-quality anisotropic, deep silicon etching.
II.1.6.
Information om delar
Kontraktet är uppdelat i flera delar: nej
II.1.7.
Upphandlingens totala värde
Värde exkl. moms: 410 000,00 EUR
II.2.
Beskrivning
II.2.3.
Plats för utförande
Nuts-kod: SE11 Stockholm
II.2.4.
Beskrivning av upphandlingen
KTH is seeking tenders for a new RIE/ICP system (equipped with load-lock and cryo-stage) dedicated to fluorine based processing. The main use of the tool will be to reactively etch dielectrics, metals, and various superconductors, as well as low pressure argon milling of inert materials.
As a new capability in the lab, the system should be able to perform high-quality anisotropic, deep silicon etching (i.e. the Bosch process). The system will mostly be used to etch small samples (possible up to 80 % of total usage), and wafers up to 4’’ diameter (remaining 20 %), but with other new purchases and our recent push towards 4’’ processing, this ratio may shift in the near future.
II.2.5.
Tilldelningskriterier
Pris
II.2.11.
Information om optioner
Option: nej
II.2.13.
Information om EU-medel
Kontraktet är knutet till projekt och/eller program som finansieras med EU-medel: nej
II.2.14.
Kompletterande upplysningar

Avsnitt IV: Förfarande

IV.1.
Beskrivning
IV.1.1.
Typ av förfarande
Öppet förfarande
IV.1.3.
Information om ramavtal eller dynamiskt inköpssystem
IV.1.8.
Information om avtalet om offentlig upphandling
Upphandlingen omfattas av avtalet om offentlig upphandling: ja
IV.2.
Administrativ information
IV.2.1.
Tidigare offentliggörande angående detta förfarande
Meddelandenummer i EUT: 2020/S 225-552543
IV.2.8.
Information om avslutande av det dynamiska inköpssystemet
IV.2.9.
Information om avslutande av anbudsinfordran i form av ett förhandsmeddelande

Avsnitt V: Kontraktstilldelning

Ett kontrakt/delkontrakt tilldelas: ja
V.2.
Kontraktstilldelning
V.2.1.
Datum för beslut om tilldelning av kontrakt
02/02/2021
V.2.2.
Information om anbuden
Antal mottagna anbud: 3
Kontraktet har tilldelats en grupp av ekonomiska aktörer: nej
V.2.3.
Uppdragstagarens namn och adress
Officiellt namn: Oxford Instruments Nanotechnology Tools Ltd
Nationellt registreringsnummer: 402320
Postadress: North End, Yatton
Ort: Bristol
Nuts-kod: UK United Kingdom
Postnummer: BS49 4AP
Land: Förenade kungariket
E-post: michael.stokeley@oxinst.com
Internetadress: http://oxford-instruments.com
Uppdragstagaren är ett litet eller medelstort företag: ja
V.2.4.
Upplysningar om kontraktets/delens värde
Kontraktets/delens totala värde: 389 500,00 EUR
V.2.5.
Information om underentreprenader

Avsnitt VI: Kompletterande upplysningar

VI.3.
Kompletterande upplysningar
Mercell notice: https://opic.com/id/afkxbpjedy
VI.4.
Överprövningsförfaranden
VI.4.1.
Behörigt organ vid överprövning
Officiellt namn: Förvaltningsrätten i Stockholm
Ort: Stockholm
Land: Sverige
VI.5.
Datum då meddelandet sänts
13/04/2021