241728-2019 - KonkurrensutsättningSee the notice on TED website 
241728-2019 - KonkurrensutsättningSverige-Stockholm: Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem
OJ S 100/2019 24/05/2019
Meddelande om upphandling
Varor
Rättslig grund:
direktiv 2014/24/EU
Avsnitt I: Upphandlande myndighet
I.1.
Namn och adresser
Officiellt namn: Kungliga Tekniska högskolan
Officiellt namn: Kungliga Tekniska högskolan
Nationellt registreringsnummer: 202100-3054
Postadress: Brinellvägen 8
Ort: Stockholm
Nuts-kod: SE11 Stockholm
Postnummer: 100 44
Land: Sverige
Kontaktperson: Marina Busk
E-post: mbusk@kth.se
Internetadress(er):
Allmän adress: http://www.kth.se
I.3.
Kommunikation
Upphandlingsdokumenten finns tillgängliga för obegränsad, fullständig och direkt tillgång kostnadsfritt på: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afzhojpszo&GoTo=Docs
Upphandlingsdokumenten finns tillgängliga för obegränsad, fullständig och direkt tillgång kostnadsfritt på: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afzhojpszo&GoTo=Docs
Ytterligare upplysningar kan erhållas från ovannämnda adress
Anbud eller anbudsansökningar ska skickas elektroniskt via: https://tendsign.com/doc.aspx?UniqueId=afzhojpszo&GoTo=Tender
I.4.
Typ av upphandlande myndighet
Statligt organ eller förbundsorgan
Statligt organ eller förbundsorgan
I.5.
Huvudsaklig verksamhet
Utbildning
Utbildning
Avsnitt II: Föremål
II.1.
Upphandlingens omfattning
II.1.1.
Benämning på upphandlingen
Procurement of a Vapour Hydrofluoric Acid (HF) Etcher
Referensnummer: V-2019-0242
II.1.2.
Huvudsaklig CPV-kod
31712000 Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem
31712000 Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem
II.1.3.
Typ av kontrakt
Varor
Varor
II.1.4.
Kort beskrivning
KTH intends to purchase one etching instrument that uses anhydrous hydrofluoric acid (aHF) vapour to etch sacrificial silicon dioxide (SiO₂) in the release etch of microelectromechanical (MEMS) devices.
The content of this invitation to tender is an upgrade of the KTH clean-room free-etching capabilities.
The activities of the main users of this tool are primarily focussing on microfabrication of MEMS and photonics devices.
II.1.5.
Uppskattat totalt värde
II.1.6.
Information om delar
Kontraktet är uppdelat i flera delar: nej
Kontraktet är uppdelat i flera delar: nej
II.2.
Beskrivning
II.2.2.
Ytterligare CPV-kod(er)
31000000 Elektriska maskiner, apparater och förbrukningsvaror samt elektrisk utrustning; belysning, 31712330 Halvledare, 42000000 Industrimaskiner, 42900000 Diverse allmänna maskiner och specialmaskiner
31000000 Elektriska maskiner, apparater och förbrukningsvaror samt elektrisk utrustning; belysning, 31712330 Halvledare, 42000000 Industrimaskiner, 42900000 Diverse allmänna maskiner och specialmaskiner
II.2.3.
Plats för utförande
Nuts-kod: SE110 Stockholms län
II.2.4.
Beskrivning av upphandlingen
The principal application of the procured instrument is to employ anhydrous hydrofluoric acid (aHF) for etching sacrificial silicon dioxide (SiO₂) with very high selectivity, and without striction, in the release Etch of microelectromechanical (MEMS) devices made in silicon (Si), poly-Si, and aluminium (Al) structural materials. The new aHF instrument will primarily be used for research and development of the release of silicon MEMS devices on silicon on insulator (SoI) wafers.
The offered instrument must be a complete vapour hydroflouric acid (HF) etcher of clean-room grade.
The instrument must be offered with a suitable maintenance kit for 2 years of planned instrument maintenance without extra cost.
II.2.5.
Tilldelningskriterier
Pris är inte det enda upphandlingskriteriet och alla kriterier anges endast i upphandlingsdokumenten
Pris är inte det enda upphandlingskriteriet och alla kriterier anges endast i upphandlingsdokumenten
II.2.6.
Uppskattat värde
II.2.7.
Kontraktets, ramavtalets eller det dynamiska inköpssystemets löptid
Antal dagar: 10
Antal dagar: 10
Detta kontrakt kan förlängas: nej
II.2.10.
Information om alternativa anbud
Alternativa anbud accepteras: nej
Alternativa anbud accepteras: nej
II.2.11.
Information om optioner
Option: ja
Option: ja
Beskriv optionen:
1) A suitable process vacuum pump for the instrument;
2) A suitable HF abatement unit (scrubber).
II.2.13.
Information om EU-medel
Kontraktet är knutet till projekt och/eller program som finansieras med EU-medel: nej
Kontraktet är knutet till projekt och/eller program som finansieras med EU-medel: nej
II.2.14.
Kompletterande upplysningar
Avsnitt IV: Förfarande
IV.1.
Beskrivning
IV.1.1.
Typ av förfarande
Öppet förfarande
Öppet förfarande
IV.1.3.
Information om ramavtal eller dynamiskt inköpssystem
IV.1.8.
Information om avtalet om offentlig upphandling
Upphandlingen omfattas av avtalet om offentlig upphandling: ja
Upphandlingen omfattas av avtalet om offentlig upphandling: ja
IV.2.
Administrativ information
IV.2.2.
Sista datum för mottagande av anbud eller anbudsansökningar
Datum: 26/06/2019 Lokal tid: 23:59
Datum: 26/06/2019 Lokal tid: 23:59
IV.2.3.
Uppskattat datum för avsändande av inbjudan till utvalda kandidater att lämna anbud eller delta
IV.2.4.
Språk som får användas i anbud eller anbudsansökningar
Svenska, Engelska
Svenska, Engelska
IV.2.6.
Minimiperiod under vilken anbudsgivaren är bunden av sitt anbud
Anbud ska vara giltigt till: 28/10/2019
Anbud ska vara giltigt till: 28/10/2019
IV.2.7.
Anbudsöppning
Datum: 27/06/2019 Lokal tid: 00:00
Datum: 27/06/2019 Lokal tid: 00:00
Avsnitt VI: Kompletterande upplysningar
VI.1.
Är detta en återkommande upphandling
Detta är en återkommande upphandling: nej
Detta är en återkommande upphandling: nej
VI.3.
VI.4.
Överprövningsförfaranden
VI.4.1.
Behörigt organ vid överprövning
Officiellt namn: Förvaltningsrätten i Stockholm
Officiellt namn: Förvaltningsrätten i Stockholm
Ort: Stockholm
Land: Sverige
VI.5.
Datum då meddelandet sänts
23/05/2019
23/05/2019