Typ av upphandlande myndighet Statligt organ eller förbundsorgan
I.5.
Huvudsaklig verksamhet Utbildning
Avsnitt II: Föremål
II.1.
Upphandlingens omfattning
II.1.1.
Benämning på upphandlingen
Deep reactive ion etcher tool
Referensnummer: V-2021-0811
II.1.2.
Huvudsaklig CPV-kod 38000000 Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)
II.1.3.
Typ av kontrakt Varor
II.1.4.
Kort beskrivning
Purpose of procurement
KTH is seeking tenders for a new state-of-the-art research tool to be placed in the clean-room of eLAB at KTH, for research on deep-etching of silicon wafers by plasma. Mainly used for research in micro-electromechanical systems and nanotechnology.
II.1.6.
Information om delar Kontraktet är uppdelat i flera delar: nej
II.1.7.
Upphandlingens totala värde Värde exkl. moms: 2 129 523,00 EUR
II.2.
Beskrivning
II.2.3.
Plats för utförande
Nuts-kod: SE11 Stockholm
II.2.4.
Beskrivning av upphandlingen
Purpose of procurement
KTH is seeking tenders for a new state-of-the-art research tool to be placed in the clean-room of eLAB at KTH, for research on deep-etching of silicon wafers by plasma. Mainly used for research in micro-electromechanical systems and nanotechnology.
II.2.5.
Tilldelningskriterier
Pris
II.2.11.
Information om optioner Option: ja
Beskriv optionen:
Secondary etching chamber for SiC and SiO2 etching.
End-point detection systems to the etching chambers.
Extended warranty options and/or service contract options.
II.2.13.
Information om EU-medel Kontraktet är knutet till projekt och/eller program som finansieras med EU-medel: nej
II.2.14.
Kompletterande upplysningar
Avsnitt IV: Förfarande
IV.1.
Beskrivning
IV.1.1.
Typ av förfarande Öppet förfarande
IV.1.3.
Information om ramavtal eller dynamiskt inköpssystem
IV.1.8.
Information om avtalet om offentlig upphandling Upphandlingen omfattas av avtalet om offentlig upphandling: ja
IV.2.
Administrativ information
IV.2.1.
Tidigare offentliggörande angående detta förfarande Meddelandenummer i EUT: 2021/S 236-621043
IV.2.8.
Information om avslutande av det dynamiska inköpssystemet
IV.2.9.
Information om avslutande av anbudsinfordran i form av ett förhandsmeddelande
Avsnitt V: Kontraktstilldelning
Ett kontrakt/delkontrakt tilldelas: ja
V.2.
Kontraktstilldelning
V.2.1.
Datum för beslut om tilldelning av kontrakt 27/01/2022
V.2.2.
Information om anbuden Antal mottagna anbud: 2
Kontraktet har tilldelats en grupp av ekonomiska aktörer: nej
V.2.3.
Uppdragstagarens namn och adress Officiellt namn: SPTS Technologies