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Fournitures - 13507-2020

13/01/2020    S8    Fournitures - Avis d'attribution de marché - Procédure ouverte 

France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques

2020/S 008-013507

Avis d’attribution de marché

Résultats de la procédure de marché

Fournitures

Base juridique:

Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble Cedex 9
Code NUTS: FRK24
Code postal: 38054
Pays: France
Point(s) de contact: Dr Catherine Sénémaud
Courriel: catherine.senemaud@cea.fr
Téléphone: +33 438780524

Adresse(s) internet:

Adresse principale: www.cea.fr

Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr

I.2)Informations sur la passation conjointe de marchés
I.4)Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.5)Activité principale
Autre activité: Recherche

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Équipement de métrologie pour CMP

Numéro de référence: AOO_190525
II.1.2)Code CPV principal
31712100
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Dans le cadre de ses activités de recherche-développement en micro et nanotechnologies, le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de métrologie pour le contrôle de process d’un équipement de polissage mécano-chimique de substrats 300 mm.

II.1.6)Information sur les lots
Ce marché est divisé en lots: non
II.2)Description
II.2.1)Intitulé:
II.2.2)Code(s) CPV additionnel(s)
II.2.3)Lieu d'exécution
Code NUTS: FRK24
Lieu principal d'exécution:

CEA Grenoble

II.2.4)Description des prestations:

Dans le cadre de ses activités de recherche-développement en micro et nanotechnologies, le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition d’un équipement de métrologie pour le contrôle de process d’un équipement de polissage de substrats 300 mm.

Cet équipement neuf (une proposition pour un équipement en service depuis de moins de 3 ans impérativement remis à neuf est acceptable), entièrement automatisé, sera intégré et raccordé au polisseur Reflexion(TM) LK PRIME de marque Applied Materials.

Ce système sera utilisé pour des applications micro-électroniques Front-End et devra mesurer in-situ les épaisseurs des couches minces avant et après polissage des plaquettes 300 mm de silicium, verre et silicium sur substrat de verre.

Cet équipement sera installé sur le site du CEA/LETI, dans la salle blanche du bâtiment 41, où il sera utilisé 7j/7 et 24h/24.

Un certain nombre d’options sont décrites dans le dossier de consultation.

Les éléments quantitatifs mentionnés sont des ordres de grandeur qui n’ont pas de valeurs contractuelle.

II.2.5)Critères d’attribution
Critère de qualité - Nom: Qualité technique de l'offre / Pondération: 45
Critère de qualité - Nom: Délais / Pondération: 5
Prix - Pondération: 50
II.2.11)Information sur les options
Options: non
II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires

Section IV: Procédure

IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédure
Procédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.6)Enchère électronique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.1)Publication antérieure relative à la présente procédure
Numéro de l'avis au JO série S: 2019/S 205-498868
IV.2.8)Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique
IV.2.9)Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation

Section V: Attribution du marché

Intitulé:

Équipement de métrologie pour CMP

Un marché/lot est attribué: non
V.1)Informations relatives à une non-attribution
Le marché/lot n'a pas été attribué
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou elles ont toutes été rejetées

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.3)Informations complémentaires:
VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours
Nom officiel: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269

Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/

VI.4.2)Organe chargé des procédures de médiation
VI.4.3)Introduction de recours
Précisions concernant les délais d'introduction de recours:

— le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché;

— le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative,

— le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de 2 mois à compter des mesures de publicité appropriées.

VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours
Nom officiel: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269

Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/

VI.5)Date d’envoi du présent avis:
09/01/2020