Results of the procurement procedure
Legal Basis:
Directive 2014/24/EU
Section I: Contracting authority
I.4)Type of the contracting authorityOther type: Forschungsgesellschaft e. V.
I.5)Main activityOther activity: Foschung und Entwicklung
Section II: Object
II.1)Scope of the procurement
II.1.1)Title:
Fraunhofer IPMS – Ellipsometer
Reference number: E_848_219842 ChrPat-bla
II.1.2)Main CPV code42990000 Miscellaneous special-purpose machinery
II.1.3)Type of contractSupplies
II.1.4)Short description:
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den In-line Betrieb im Reinraum. Es sollen Wafergrößen von 300 mm und optional 200 mm bedient werden. Insbesondere entsteht sowohl eine technische Redundanz und die Möglichkeit zukünftige Anforderungen an diese Messmethode mittels DBS / SE / SWE zuverlässig zu Messen.
II.1.6)Information about lotsThis contract is divided into lots: no
II.2)Description
II.2.3)Place of performanceNUTS code: DED2 Dresden
Main site or place of performance:
Fraunhofer IPMS
01109 Dresden
II.2.4)Description of the procurement:
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den In-line Betrieb im Reinraum. Es sollen Wafergrößen von 300 mm und optional 200 mm bedient werden. Insbesondere entsteht sowohl eine technische Redundanz und die Möglichkeit zukünftige Anforderungen an diese Messmethode mittels DBS / SE / SWE zuverlässig zu Messen.
II.2.5)Award criteriaQuality criterion - Name: Technischer Wert / Weighting: 35 %
Quality criterion - Name: Lieferzeit / Weighting: 10 %
Price - Weighting: 55 %
II.2.11)Information about optionsOptions: yes
Description of options:
— Flatness Measurement Sytem,
— Second 300 mm Loadport,
— 200 mm Wafer Size Funtionality.
II.2.13)Information about European Union fundsThe procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
II.2.14)Additional information
Das Verfahren wird nach §63 (1) 3 VGV aufgehoben.
Section IV: Procedure
IV.1)Description
IV.1.1)Type of procedureCompetitive procedure with negotiation
IV.1.3)Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system
IV.1.8)Information about the Government Procurement Agreement (GPA)The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: yes
IV.2)Administrative information
IV.2.1)Previous publication concerning this procedure IV.2.8)Information about termination of dynamic purchasing system
IV.2.9)Information about termination of call for competition in the form of a prior information notice
Section V: Award of contract
Title:
Fraunhofer IPMS – Ellipsometer
A contract/lot is awarded: no
V.1)Information on non-awardThe contract/lot is not awarded
Other reasons (discontinuation of procedure)
Section VI: Complementary information
VI.3)Additional information:
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher oder englischer Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1) genannte Kontaktstelle gerichtet werden.
VI.4)Procedures for review
VI.4.1)Review bodyOfficial name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postal address: Villemombler Straße 76
Town: Bonn
Postal code: 53123
Country: Germany
VI.4.3)Review procedurePrecise information on deadline(s) for review procedures:
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
VI.4.4)Service from which information about the review procedure may be obtainedOfficial name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postal address: Hansastraße 27c
Town: München
Postal code: 80686
Country: Germany
E-mail:
einkauf@zv.fraunhofer.deInternet address:
http://www.fraunhofer.de VI.5)Date of dispatch of this notice:19/01/2021