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Fournitures - 270602-2021

31/05/2021    S103

France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques

2021/S 103-270602

Avis de marché

Fournitures

Base juridique:
Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CEA Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code NUTS: FRK24 Isère
Code postal: 38054
Pays: France
Point(s) de contact: Zainab Magari
Courriel: zainab.magari@cea.fr
Téléphone: +33 438781938
Adresse(s) internet:
Adresse principale: www.cea.fr
Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr
I.3)Communication
Les documents du marché sont disponibles gratuitement en accès direct non restreint et complet, à l'adresse: https://www.marches-publics.gouv.fr
Adresse à laquelle des informations complémentaires peuvent être obtenues: le ou les point(s) de contact susmentionné(s)
Les offres ou les demandes de participation doivent être envoyées par voie électronique via: https://www.marches-publics.gouv.fr
I.4)Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.5)Activité principale
Autre activité: Recherche

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm pour le bâtiment 41

Numéro de référence: AOO-B21-03384
II.1.2)Code CPV principal
31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but, de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de silane et de teos), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe, avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end.

II.1.5)Valeur totale estimée
II.1.6)Information sur les lots
Ce marché est divisé en lots: non
II.2)Description
II.2.3)Lieu d'exécution
Code NUTS: FRK24 Isère
II.2.4)Description des prestations:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but, de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de silane et de teos), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe, avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end.

II.2.5)Critères d’attribution
Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché
II.2.6)Valeur estimée
II.2.7)Durée du marché, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamique
Durée en mois: 6
Ce marché peut faire l'objet d'une reconduction: non
II.2.10)Variantes
Des variantes seront prises en considération: oui
II.2.11)Information sur les options
Options: non
II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires

Section III: Renseignements d’ordre juridique, économique, financier et technique

III.1)Conditions de participation
III.1.1)Habilitation à exercer l'activité professionnelle, y compris exigences relatives à l'inscription au registre du commerce ou de la profession
Liste et description succincte des conditions:

Le candidat fournira à l’appui de sa candidature:

— le formulaire DC1 (lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent;

— le formulaire DC2 (déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.

Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant:

http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat

— la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente;

— lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.

III.1.2)Capacité économique et financière
Critères de sélection tels que mentionnés dans les documents de la consultation
III.1.3)Capacité technique et professionnelle
Critères de sélection tels que mentionnés dans les documents de la consultation

Section IV: Procédure

IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédure
Procédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.2)Date limite de réception des offres ou des demandes de participation
Date: 28/06/2021
Heure locale: 12:00
IV.2.3)Date d’envoi estimée des invitations à soumissionner ou à participer aux candidats sélectionnés
IV.2.4)Langue(s) pouvant être utilisée(s) dans l'offre ou la demande de participation:
français
IV.2.6)Délai minimal pendant lequel le soumissionnaire est tenu de maintenir son offre
Durée en mois: 4 (à compter de la date limite de réception des offres)
IV.2.7)Modalités d’ouverture des offres
Date: 28/06/2021
Heure locale: 14:00

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.1)Renouvellement
Il s'agit d'un marché renouvelable: non
VI.3)Informations complémentaires:

Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis, et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.

Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur: https://www.marchespublics.gouv.fr

Modalités d’obtention du dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://

www.marches-publics.gouv.fr

Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-B21-03384-ZM.

Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.

VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours
Nom officiel: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours
Nom officiel: Greffe tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.5)Date d’envoi du présent avis:
26/05/2021