Lieferungen - 428400-2019

12/09/2019    S176    - - Lieferungen - Bekanntmachung über vergebene Aufträge - Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb 

Deutschland-Aachen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2019/S 176-428400

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Legal Basis:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
RWTH Aachen University
Wüllnerstr. 5
Aachen
52062
Deutschland
Kontaktstelle(n): Abt. 7.3 Einkauf & Zollangelegenheiten
Telefon: +49 2418094200
E-Mail: beschaffung@zhv.rwth-aachen.de
Fax: +49 2418092251
NUTS-Code: DEA2D

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: http://www.rwth-aachen.de

I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

115-Physical Vaporphase Deposition

II.1.2)CPV-Code Hauptteil
31712100
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Physical Vaporphase Deposition „PVD" (Sputterdepositionsanlage).

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: 495 000.00 EUR
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
38810000
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DEA2D
Hauptort der Ausführung:

52074 Aachen

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Bei der zu beschaffenden Anlage „CDPP_PVD" handelt es sich um eine Sputterdepositionsanlage (PVD). Die Anlage muss über 4 Sputtertargets verfügen und muss sowohl im DC-, als auch RF-Magnetron Sputtermodus betrieben werden können. Darüber hinaus muss die Anlage über eine Wafer-Vorreinigung verfügen, mit deren Hilfe organische und anorganische Anhaftungen, sowie natürliche Oxide von der Waferoberfläche reaktiv und/oder mechanisch desorbiert werden können.

Insbesondere muss die Anlage über einen Kassetten-Lademechanismus verfügen, der es erlaubt mehrere Wafer (verschiedener Größe) und/oder Einzelproben in einem „Batch-Mode" Verfahren sequentiell zu beschichten, ohne den Vakuumzustand aufzuheben.

Darüber hinaus muss die Anlage „Through-The-Wall" installiert werden, d. h., die Be-/Entladung muss über eine separate Vakuumkammer (hier Kassetten-Ladekammer) erfolgen, die vom ISO5-Reinraum des CDPP zugänglich ist, während die Hauptkonsole, die u. a. die Prozesskammer beinhalten muss, im ISO7-Reinraum des CDPP installiert werden muss. Der Transfer zwischen diesen Kammern muss automatisch erfolgen.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Qualitätskriterium - Name: Preis / Gewichtung: 100
Preis - Gewichtung: 100.00
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Auftragsvergabe ohne vorherige Bekanntmachung eines Aufrufs zum Wettbewerb im Amtsblatt der Europäischen Union (für die unten aufgeführten Fälle)
  • Die betreffenden Erzeugnisse werden gemäß den in der Richtlinie genannten Bedingungen ausschließlich für Forschungs-, Versuchs-, Untersuchungs- oder Entwicklungszwecke hergestellt
Erläuterung:

Das Verhandlungsverfahren erfolgte nach einer aufgehobenen EU-Ausschreibung (10012839). Für das Verhandlungsverfahren kam nur die Firma von Ardene in Frage.

IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Bezeichnung des Auftrags:

Auftragsvergabe von Ardenne GmbH

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
10/09/2019
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Von Ardenne GmbH
Am Hahnweg 8
Dresden
01328
Deutschland
NUTS-Code: DED21
Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 589 050.00 EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YYK0

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer Rheinland
Zeughaustr. 2-10
Köln
50606
Deutschland
Telefon: +49 221-1473116
E-Mail: vergabekammer@bez.reg-koeln.nrw.de
Fax: +49 221-1472889

Internet-Adresse: http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer

VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
10/09/2019