Suministros - 448994-2020

25/09/2020    S187

Alemania-Múnich: Máquinas diversas para usos especiales

2020/S 187-448994

Anuncio de licitación

Suministros

Base jurídica:
Directiva 2014/24/UE

Apartado I: Poder adjudicador

I.1)Nombre y direcciones
Nombre oficial: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Dirección postal: Hansastraße 27c
Localidad: München
Código NUTS: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Código postal: 80686
País: Alemania
Correo electrónico: fraunhofer@deutsche-evergabe.de
Direcciones de internet:
Dirección principal: http://www.fraunhofer.de
Dirección del perfil de comprador: http://www.deutsche-evergabe.de
I.3)Comunicación
Acceso libre, directo, completo y gratuito a los pliegos de la contratación, en: http://www.deutsche-evergabe.de/
Puede obtenerse más información en la dirección mencionada arriba
Las ofertas o solicitudes de participación deben enviarse por vía electrónica a: http://www.deutsche-evergabe.de/
I.4)Tipo de poder adjudicador
Otro tipo: Forschungsgesellschaft e. V.
I.5)Principal actividad
Otra actividad: Foschung und Entwicklung

Apartado II: Objeto

II.1)Ámbito de la contratación
II.1.1)Denominación:

Fraunhofer IOF – E_066_249431 – ALD Beschichtungsanlage

Número de referencia: E_066_249431 migl-bla
II.1.2)Código CPV principal
42990000 Máquinas diversas para usos especiales
II.1.3)Tipo de contrato
Suministros
II.1.4)Breve descripción:

ALD Beschichtungsanlage zur Herstellung dielektrischer Schichten für die Optik

Atomic Layer Deposition (ALD) Anlage für die Abscheidung optischer Wechselschichtsysteme aus Materialien, wie z. B. SiO2, TiO2, Al2O3, HfO2, Ta2O5, etc. Eine hohe Abscheiderate (> 2-6 nm/ min) ist erwünscht. Die Wöchentliche zu erwartenden Abscheidedicke beträgt mehrere Mikrometer.

Substrat Größe:

— Länge/ Breite/ Höhe = 700/ 500/ 300 mm;

— Länge/ Breite/ Höhe = 900/ 250/ 200 mm.

Eine sehr gute Schichtdickenverteilung (Schichtdickenabweichung ≤ 2 %) über die gesamte Substrat Oberfläche wird gefordert. Die Anlage soll so aufgebaut sein, dass sowohl thermische Prozesse als auch plasmaunterstützte ALD-Prozesse durchgeführt werden können. Es können sowohl sequenzielle als auch räumlich separierte (spatial) ALD-Anlagen angeboten werden.

II.1.5)Valor total estimado
II.1.6)Información relativa a los lotes
El contrato está dividido en lotes: no
II.2)Descripción
II.2.3)Lugar de ejecución
Código NUTS: DEG03 Jena, Kreisfreie Stadt
Emplazamiento o lugar de ejecución principal:

07745 Jena

II.2.4)Descripción del contrato:

ALD Beschichtungsanlage zur Herstellung dielektrischer Schichten für die Optik

Atomic Layer Deposition (ALD) Anlage für die Abscheidung optischer Wechselschichtsysteme aus Materialien, wie z. B. SiO2, TiO2, Al2O3, HfO2, Ta2O5, etc. Eine hohe Abscheiderate (> 2-6 nm/ min) ist erwünscht. Die Wöchentliche zu erwartenden Abscheidedicke beträgt mehrere Mikrometer.

Substrat Größe:

— Länge/ Breite/ Höhe = 700/ 500/ 300 mm;

— Länge/ Breite/ Höhe = 900/ 250/ 200 mm.

Eine sehr gute Schichtdickenverteilung (Schichtdickenabweichung ≤ 2 %) über die gesamte Substrat Oberfläche wird gefordert. Die Anlage soll so aufgebaut sein, dass sowohl thermische Prozesse als auch plasmaunterstützte ALD-Prozesse durchgeführt werden können. Es können sowohl sequenzielle als auch räumlich separierte (spatial) ALD-Anlagen angeboten werden.

II.2.5)Criterios de adjudicación
El precio no es el único criterio de adjudicación, y todos los criterios figuran únicamente en los pliegos de la contratación
II.2.6)Valor estimado
II.2.7)Duración del contrato, acuerdo marco o sistema dinámico de adquisición
Duración en meses: 9
Este contrato podrá ser renovado: no
II.2.10)Información sobre las variantes
Se aceptarán variantes: no
II.2.11)Información sobre las opciones
Opciones: sí
Descripción de las opciones:

3.16

Der Auftraggeber ist im Sinne eines einseitigen Optionsrechts berechtigt, folgende

Zusätzliche Leistungen/Leistungsänderungen zu verlangen:

2.1 2. oder 14. Substartgröße: Verschiedene Prozesskammern mit unterschiedlicher Größe

(Diese müssen ohne großen Aufwand austauschbar sein)

46. Das Anlegen einer Bias Spannung im Prozess ist gewünscht.

56. Prozesskontrolle über insitu Ellipsometer/ Reflektometer oder insitu QCM zur Schichtdickenmonitorierung

74. Die Fläche kann mit 1‘‘ Glas-Substraten ausgelegt werden, wobei mindestens 10 Substrate gleichmäßig auf der Fläche verteilt sein müssen

75.Alternativ können Si-Wafer-Substrate mittels Ellipsometrie analysiert werden

121. Wartungsvertragsverlängerung von weiteren 2x12 Monaten.

II.2.13)Información sobre fondos de la Unión Europea
El contrato se refiere a un proyecto o programa financiado con fondos de la Unión Europea: no
II.2.14)Información adicional

Apartado III: Información de carácter jurídico, económico, financiero y técnico

III.1)Condiciones de participación
III.1.2)Situación económica y financiera
Lista y breve descripción de los criterios de selección:

5. Schriftliche Erklärung Ihrer Bank, das nach Zuschlagserteilung, eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster, ausgestellt wird.

„Achtung“

Dieser Punkt gilt nicht bei einem Einsatz von Subunternehmer.

III.1.3)Capacidad técnica y profesional
Lista y breve descripción de los criterios de selección:

1. Firmenprofil

2. Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre

3. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

4a. Abgabe einer Referenzliste mit der Ausweisung von min. 3 vergleichbaren Anlagen gemäß der Kurzbeschreibung in den letzten 5 Jahren

„Achtung“:

Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit der Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung.

Und/ oder

4b. Nachweis und Darstellung eines Be- und Entladeprozesses einer verleichbaren ALD-Anlage per Video- und/oder Fotodokumentation (z. B. per Link etc.). Dabei muss die Größe des Reaktors gut erkennbar sein.

6. Der Hersteller garantiert:

—— Telefon-Support während Bürozeiten (Reaktionszeit < 48h);

—— Reparatur im Fall von Störungen (Rufbereitschaft 5 Werktage);

—— Ersatzteile liefern zu können (10 Tage Lieferzeit für Standard-Teile,

30 Tage Lieferzeit für Spezialanfertigungen nach Eingang der Bestellung).

III.2)Condiciones relativas al contrato
III.2.2)Condiciones de ejecución del contrato:

Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Unterlagen nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Apartado IV: Procedimiento

IV.1)Descripción
IV.1.1)Tipo de procedimiento
Procedimiento de licitación con negociación
IV.1.3)Información sobre un acuerdo marco o un sistema dinámico de adquisición
IV.1.5)Información sobre la negociación
IV.1.8)Información acerca del Acuerdo sobre Contratación Pública
El contrato está cubierto por el Acuerdo sobre Contratación Pública: sí
IV.2)Información administrativa
IV.2.2)Plazo para la recepción de ofertas o solicitudes de participación
Fecha: 22/10/2020
Hora local: 09:00
IV.2.3)Fecha estimada de envío a los candidatos seleccionados de las invitaciones a licitar o a participar
Fecha: 03/11/2020
IV.2.4)Lenguas en que pueden presentarse las ofertas o las solicitudes de participación:
Alemán, Inglés
IV.2.6)Plazo mínimo durante el cual el licitador estará obligado a mantener su oferta
La oferta debe ser válida hasta: 01/02/2021

Apartado VI: Información complementaria

VI.1)Información sobre la periodicidad
Se trata de contratos periódicos: no
VI.3)Información adicional:

Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung.

Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden.

VI.4)Procedimientos de recurso
VI.4.1)Órgano competente para los procedimientos de recurso
Nombre oficial: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Dirección postal: Villemombler Straße 76
Localidad: Bonn
Código postal: 53123
País: Alemania
VI.4.3)Procedimiento de recurso
Información precisa sobre el plazo o los plazos de recurso:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

VI.4.4)Servicio del cual se puede obtener información sobre el procedimiento de recurso
Nombre oficial: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Dirección postal: Hansastraße 27c
Localidad: München
Código postal: 80686
País: Alemania
Correo electrónico: einkauf@zv.fraunhofer.de
Dirección de internet: http://www.fraunhofer.de
VI.5)Fecha de envío del presente anuncio:
22/09/2020