Base juridique:
Directive 2014/24/UE
Section I: Pouvoir adjudicateur
I.1)Nom et adressesNom officiel: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 avenue des martyrs
Ville: Grenoble
Code NUTS:
FRK24 IsèreCode postal: 38054
Pays: France
Point(s) de contact: Sophie Nègre
Courriel:
sophie.negre@cea.frTéléphone: +33 438786771
Adresse(s) internet: Adresse principale:
www.cea.frAdresse du profil d’acheteur:
https://www.marches-publics.gouv.fr I.3)CommunicationAdresse à laquelle des informations complémentaires peuvent être obtenues: le ou les point(s) de contact susmentionné(s)
I.4)Type de pouvoir adjudicateurOrganisme de droit public
I.5)Activité principaleAutre activité: Recherche
Section II: Objet
II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:
Fourniture d’un équipement de stripping wet batch spray 200mm
Numéro de référence: B21-06332-SN
II.1.2)Code CPV principal31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.1.3)Type de marchéFournitures
II.1.4)Description succincte:
Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).
Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau désionisée / ammoniaque / peroxyde d’hydrogène), après des procédés courants tels que la photolithographie, l’implantation ionique, la gravure plasma ou l’élimination de résines photosensibles par plasma.
Afin d’assurer la sécurité des opérateurs et la qualité des plaques traitées, la préparation des chimie et les procédés sur plaques devront être entièrement automatisés.
Cet équipement sera installé dans la salle blanche du bâtiment 4101 au LETI et sera opéré en service continu 24/24.
II.1.5)Valeur totale estimée
II.1.6)Information sur les lotsCe marché est divisé en lots: non
II.2)Description
II.2.3)Lieu d'exécutionCode NUTS: FRK24 Isère
Lieu principal d'exécution:
CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées
II.2.4)Description des prestations:
Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.
L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).
Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau désionisée / ammoniaque / peroxyde d’hydrogène), après des procédés courants tels que la photolithographie, l’implantation ionique, la gravure plasma ou l’élimination de résines photosensibles par plasma.
Afin d’assurer la sécurité des opérateurs et la qualité des plaques traitées, la préparation des chimie et les procédés sur plaques devront être entièrement automatisés.
Cet équipement sera installé dans la salle blanche du bâtiment 4101 au LETI et sera opéré en service continu 24/24.
II.2.5)Critères d’attributionLe prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché
II.2.6)Valeur estimée
II.2.7)Durée du marché, de l'accord-cadre ou du système d'acquisition dynamiqueDurée en mois: 12
Ce marché peut faire l'objet d'une reconduction: non
II.2.10)VariantesDes variantes seront prises en considération: oui
II.2.11)Information sur les optionsOptions: non
II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenneLe contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires
Section III: Renseignements d’ordre juridique, économique, financier et technique
III.1)Conditions de participation
III.1.1)Habilitation à exercer l'activité professionnelle, y compris exigences relatives à l'inscription au registre du commerce ou de la professionListe et description succincte des conditions:
Le candidat fournira à l’appui de sa candidature :
- le formulaire DC1 (Lettre de candidature et habilitation du mandataire par ses cotraitants) ou équivalent,
- le formulaire DC2 (Déclaration du candidat individuel ou du membre du groupement) ou équivalent.
Ces formulaires sont disponibles sur le site Internet suivant :
http://www.economie.gouv.fr/daj/formulaires-declaration-du-candidat
- la copie du ou des jugements prononcés s’il est en redressement judiciaire ou dans une procédure étrangère équivalente.
- lorsqu’il appartient à un groupe, une attestation certifiant de son autonomie commerciale et de sa situation de concurrence vis à vis des autres entreprises du groupe.
Les opérateurs économiques ont l’obligation de déposer leurs candidatures et offres par voie électronique sur PLACE, sauf dans les cas prévus par l’article R2132-12 du CCP..
Le candidat peut présenter sa candidature sous la forme d’un document unique de marché européen (DUME), en lieu et place des documents mentionnés à l’article R2143-3 du Code de la commande publique, téléchargeable à l’adresse suivante : https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=fr
III.1.2)Capacité économique et financièreCritères de sélection tels que mentionnés dans les documents de la consultation
III.1.3)Capacité technique et professionnelleCritères de sélection tels que mentionnés dans les documents de la consultation
Section IV: Procédure
IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédureProcédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.2)Date limite de réception des offres ou des demandes de participationDate: 29/11/2021
Heure locale: 12:00
IV.2.3)Date d’envoi estimée des invitations à soumissionner ou à participer aux candidats sélectionnés
IV.2.4)Langue(s) pouvant être utilisée(s) dans l'offre ou la demande de participation:anglais, français
IV.2.6)Délai minimal pendant lequel le soumissionnaire est tenu de maintenir son offreDurée en mois: 4 (à compter de la date limite de réception des offres)
IV.2.7)Modalités d’ouverture des offresDate: 29/11/2021
Heure locale: 12:00
Informations sur les personnes autorisées et les modalités d'ouverture:
Cette date est facultative au regard de l'absence d'obligation, en droit français de la renseigner.
Section VI: Renseignements complémentaires
VI.1)RenouvellementIl s'agit d'un marché renouvelable: non
VI.3)Informations complémentaires:
Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.
Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marches-publics.gouv.fr .
Modalités d’obtention du Dossier de Consultation :
Pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante : https://www.marches-publics.gouv.fr
Modalités de transmission des candidatures et des offres :
Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.
Après examen de la conformité administrative du dossier de candidature, le CEA procédera à l'analyse et à la sélection des candidatures conformément aux critères de jugement des candidatures suivants :
- capacité professionnelle : aptitude technique, organisation en matière d’assurance qualité, références sur des prestations similaires/des fournitures similaires
- capacité financière.
VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours VI.4.3)Introduction de recoursPrécisions concernant les délais d'introduction de recours:
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché.
Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.551-13 et suivants du Code de justice administrative.
Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées.
VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours VI.5)Date d’envoi du présent avis:27/10/2021