Fournitures - 666749-2021

27/12/2021    S251

France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques

2021/S 251-666749

Avis d’attribution de marché

Résultats de la procédure de marché

Fournitures

Base juridique:
Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 avenue des martyrs
Ville: Grenoble
Code NUTS: FRK24 Isère
Code postal: 38054
Pays: France
Point(s) de contact: Sophie Nègre
Courriel: sophie.negre@cea.fr
Téléphone: +33 438786771
Adresse(s) internet:
Adresse principale: www.cea.fr
Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr
I.4)Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.5)Activité principale
Autre activité: Recherche

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Fourniture d’un équipement de stripping wet batch spray 200mm

Numéro de référence: B21-06332-SN
II.1.2)Code CPV principal
31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.

L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).

Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau désionisée / ammoniaque / peroxyde d’hydrogène), après des procédés courants tels que la photolithographie, l’implantation ionique, la gravure plasma ou l’élimination de résines photosensibles par plasma.

Afin d’assurer la sécurité des opérateurs et la qualité des plaques traitées, la préparation des chimie et les procédés sur plaques devront être entièrement automatisés.

Cet équipement sera installé dans la salle blanche du bâtiment 4101 au LETI et sera opéré en service continu 24/24.

II.1.6)Information sur les lots
Ce marché est divisé en lots: non
II.1.7)Valeur totale du marché (hors TVA)
Valeur hors TVA: 1.00 EUR
II.2)Description
II.2.3)Lieu d'exécution
Code NUTS: FRK24 Isère
Lieu principal d'exécution:

CEA Grenoble - Conditions d'accès règlementées

II.2.4)Description des prestations:

Le CEA/LETI souhaite acheter un équipement de stripping en phase liquide pour des applications microélectroniques en salle blanche.

L’équipement devra traiter des plaques 200mm par lots et fonctionner par aspersion (équipement de type « batch spray »).

Il sera destiné à retirer des résines photosensibles et à nettoyer des polymères de gravure en utilisant une chimie à base d’acide sulfurique et de peroxyde d’hydrogène (acide de Caro ou SPM) et une solution de nettoyage dite « SC1 » (mélange eau désionisée / ammoniaque / peroxyde d’hydrogène), après des procédés courants tels que la photolithographie, l’implantation ionique, la gravure plasma ou l’élimination de résines photosensibles par plasma.

Afin d’assurer la sécurité des opérateurs et la qualité des plaques traitées, la préparation des chimie et les procédés sur plaques devront être entièrement automatisés.

Cet équipement sera installé dans la salle blanche du bâtiment 4101 au LETI et sera opéré en service continu 24/24.

II.2.5)Critères d’attribution
Critère de qualité - Nom: Atteinte des performances process de l’équipement par rapport aux spécifications cibles reprises au $3 du cahier des charges / Pondération: 30
Critère de qualité - Nom: Délais d’intervention pendant la période de garantie / Pondération: 10
Critère de qualité - Nom: Délais de livraison de l’équipement / Pondération: 20
Prix - Pondération: 40
II.2.11)Information sur les options
Options: non
II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires

Section IV: Procédure

IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédure
Procédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.1)Publication antérieure relative à la présente procédure
Numéro de l'avis au JO série S: 2021/S 211-550988
IV.2.8)Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique
IV.2.9)Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation

Section V: Attribution du marché

Intitulé:

Fourniture d’un équipement de stripping wet batch spray 200mm

Un marché/lot est attribué: oui
V.2)Attribution du marché
V.2.1)Date de conclusion du marché:
16/12/2021
V.2.2)Informations sur les offres
Nombre d'offres reçues: 2
Le marché a été attribué à un groupement d'opérateurs économiques: non
V.2.3)Nom et adresse du titulaire
Nom officiel: SICONNEX SOLUTIONS SERVICE Gmbh
Adresse postale: Gewerbestrasse 2
Ville: Salzbourg
Code NUTS: AT32 Salzburg
Code postal: 5322
Pays: Autriche
Le titulaire est une PME: non
V.2.4)Informations sur le montant du marché/du lot (hors TVA)
Valeur totale du marché/du lot: 1.00 EUR
V.2.5)Information sur la sous-traitance

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.3)Informations complémentaires:

Modalités de consultation du marché : un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.

Les cases relatives au montant du marché ont été complétées au II.1.7 et au V.2.4 par la valeur "1,00" uniquement pour pouvoir valider et publier l'avis d'attribution. Les valeurs indiquées dans ces champs ne sont donc pas à prendre en compte.

VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours
Nom officiel: TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours
Nom officiel: GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE
Adresse postale: 2 Place de Verdun
Ville: GRENOBLE
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.5)Date d’envoi du présent avis:
22/12/2021