Поръчката включва доставка, монтаж, въвеждане в експлоатация и обучение на 2-ма специалисти на Възложителя на 1 бр. установка за нанасяне многослойни системи за монтаж за нуждите на Технически университет – София, по проект BG05M2OP001-1.001-0008 „Национален център по мехатроника и чисти технологии“, финансиран чрез Оперативна програма „Наука и образование за интелигентен растеж“ 2014-2020”. Минимални технически показатели “Установка за нанасяне многослойни системи за монтаж“:
1. Работна камера позволяваща разполагане на не по-малко от 5 източника включително монтирани 4 магнетронни.
2. Работна площ върху която се нанасят слоевете не по-малка от диаметър 100 mm върху съответен държател.
3. Държателят да позволява завъртане около вертикалната ос.
4. Подгряване на държателя минимум до 850 оС ± 1oC
5. Възможност за постоянно токово и високочестотно разпрашване с комплект 750 W постояннотоков генератор и 300W високочестотен генератор. Високочестотният генератор да е с автоматично съгласуване.
6. Възможност за едновременно или последователно нанасяне на минимум два слоя с автоматично превключване.
7. Преднапрежение на подложките с цел почистване
8. Шлюзова камера за зареждане на държателя без развакуумиране на камерата.
9. Измерител на дебелина/скорост на отлагане за прозрачни и непрозрачни материали (тип микровизна или аналогичен)
10. Газови магистрали за подаване на газ в камерата.
11. Разширение за постигане на вакуум в обхвата на 10-8 Torr
12. Измерители на нисък и висок вакуум
13. Система за охлаждане на магнетроните и държателите, осигуряваща оптимално функциониране.
14. Да бъдат предвидени технологични отвори позволяващи надграждане на машината чрез допълнително присъединяване на постояннотокови и високочестотни преходници, измерители тип „масспектрометричен анализ”, „оптичен коефициент на отражение”.
15. Захранване по Европейски стандарт - 220V (монофазно) или 380V (трифазно) или комбинация от двете.
Минималните технически показатели и изисквания са посочени в Техническата спецификация на Възложителя.
- Гаранционен срок – минимум 12 месеца, считано от от датата на подписване на Приемо-предавателния протокол, удостоверяващ изпълнението на дейностите, посочени в чл. 1, ал. 2 от договора. В рамките на гаранционния срок, Изпълнителят в срок до 30 календарни дни, считано от датата на двустранно подписан констативен протокол, отстранява със свои сили и средства всички неизправности, несъответствия, повреди, дефекти и/или отклонения на доставеното устройство, съответно доставя резервни части и/или компоненти, подменя дефектирали части и/или компоненти с нови. Гаранционният срок на устройството, в процес на ремонт/поправяне, се удължава със срока, през който е траело отстраняването на повредата/ремонта. Гаранцията на извършен ремонт/вложени части е 6 месеца, считано от датата на двустранно подписан протокол, удостоверяващ извършения ремонт/вложените части. Рекламационното съобщение на Възложителя може да бъде изпратено по факс, електронна поща или обикновена поща. Изпълнителят е длъжен да изпрати свой представител на място за констатиране и идентифициране на повредата/несъответствието в срок до 5 календарни дни, от получаване на рекламационното съобщение на Възложителя. При посещението се съставя констативен протокол в два еднообразни екземпляра, в който се описват вида на съответната повреда/неизправност/несъответствие/дефекти и/или отклонения на доставеното устройство.