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Fournitures - 284749-2021

07/06/2021    S108

France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques

2021/S 108-284749

Rectificatif

Avis d'information complémentaire ou avis rectificatif

Fournitures

(Supplément au Journal officiel de l'Union européenne, 2021/S 090-232503)

Base juridique:
Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur/entité adjudicatrice

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble Cedex 9
Code NUTS: FRK24 Isère
Code postal: 38054
Pays: France
Courriel: claire.moreau-flachat@cea.fr
Téléphone: +33 438789943
Fax: +33 438785060
Adresse(s) internet:
Adresse principale: www.cea.fr
Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Équipement de mesure d’Overlay pour la lithographie avancée

Numéro de référence: AOO-B21-01606-CMF
II.1.2)Code CPV principal
31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Le CEA/Grenoble souhaite louer ou acheter un équipement de mesure d’Overlay pour la lithographie avancée qui participera à étudier des process en vue de la production de composants microélectroniques, MEMS ou NEMS. Il sera intégré dans la salle blanche de son Institut Léti. Il devra gérer automatiquement les mesures sur des plaques de silicium 200 et 300 mm.

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.5)Date d’envoi du présent avis:
02/06/2021
VI.6)Référence de l'avis original
Numéro de l'avis au JO série S: 2021/S 090-232503

Section VII: Modifications

VII.1)Informations à rectifier ou à ajouter
VII.1.2)Texte à rectifier dans l'avis original
Numéro de section: IV.2.2)
Endroit où se trouve le texte à rectifier: Date limite de réception des offres ou des demandes de participation
Au lieu de:
Date: 04/06/2021
Heure locale: 16:00
Lire:
Date: 28/06/2021
Heure locale: 16:00
Numéro de section: IV.2.7)
Endroit où se trouve le texte à rectifier: Modalités d’ouverture des offres
Au lieu de:
Date: 04/06/2021
Heure locale: 17:00
Lire:
Date: 29/06/2021
Heure locale: 08:00
VII.2)Autres informations complémentaires: