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Fournitures - 332249-2021

02/07/2021    S126

France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques

2021/S 126-332249

Avis d’attribution de marché

Résultats de la procédure de marché

Fournitures

Base juridique:
Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CEA Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble
Code NUTS: FRK24 Isère
Code postal: 38054
Pays: France
Point(s) de contact: Zainab Magari
Courriel: zainab.magari@cea.fr
Téléphone: +33 438781938
Adresse(s) internet:
Adresse principale: www.cea.fr
Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr
I.4)Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.5)Activité principale
Autre activité: Recherche

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm — bâtiment 52C

Numéro de référence: AOO-B21-03137-ZM
II.1.2)Code CPV principal
31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de Silane et de TEOS), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro- et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end.

II.1.6)Information sur les lots
Ce marché est divisé en lots: non
II.2)Description
II.2.3)Lieu d'exécution
Code NUTS: FRK24 Isère
II.2.4)Description des prestations:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de SILANE et de TEOS), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro- et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end.

II.2.5)Critères d’attribution
Critère de qualité - Nom: Configuration globale de l’équipement / Pondération: 25 %
Critère de qualité - Nom: Performances des réacteurs et spécifications des couches minces déposées / Pondération: 20 %
Critère de qualité - Nom: Délais de fabrication et de livraison / Pondération: 5 %
Prix - Pondération: 50 %
II.2.11)Information sur les options
Options: non
II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires

Section IV: Procédure

IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédure
Procédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.1)Publication antérieure relative à la présente procédure
Numéro de l'avis au JO série S: 2021/S 103-270600
IV.2.8)Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique
IV.2.9)Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation

Section V: Attribution du marché

Intitulé:

Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm — bâtiment 52C

Un marché/lot est attribué: non
V.1)Informations relatives à une non-attribution
Le marché/lot n'a pas été attribué
Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou elles ont toutes été rejetées

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.3)Informations complémentaires:

Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables.

Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr

Modalités d’obtention du dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur l’URL suivante: https://www.marches-publics.gouv.fr

Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-B21-03137-ZM.

Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation.

VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours
Nom officiel: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours
Nom officiel: Greffe tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.5)Date d’envoi du présent avis:
29/06/2021