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Fournitures - 386230-2021

30/07/2021    S146

France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques

2021/S 146-386230

Avis d’attribution de marché

Résultats de la procédure de marché

Fournitures

Base juridique:
Directive 2014/24/UE

Section I: Pouvoir adjudicateur

I.1)Nom et adresses
Nom officiel: CEA/Grenoble
Adresse postale: 17 rue des Martyrs
Ville: Grenoble Cedex 9
Code NUTS: FRK24 Isère
Code postal: 38054
Pays: France
Point(s) de contact: Mme Syrga Turganalieva
Courriel: syrga.turganalieva@cea.fr
Téléphone: +33 438783071
Fax: +33 438785060
Adresse(s) internet:
Adresse principale: www.cea.fr
Adresse du profil d’acheteur: https://www.marches-publics.gouv.fr
I.4)Type de pouvoir adjudicateur
Organisme de droit public
I.5)Activité principale
Autre activité: Recherche

Section II: Objet

II.1)Étendue du marché
II.1.1)Intitulé:

Fourniture d’un banc de test de filtration et analyse de résidus issus de procédés de polissage mécano-chimique

Numéro de référence: AOO-B21-00939-ST
II.1.2)Code CPV principal
31712100 Machines et appareils microélectroniques
II.1.3)Type de marché
Fournitures
II.1.4)Description succincte:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de banc de test pour évaluer la performances des filtres utilisés pour les chimies de polissage dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique. Cet équipement aura pour vocation de simuler trois boucles de recirculation de chimie avec trois niveaux de filtrations ayant pour but d’enlever les grosses particules endommageant les circuits. L’équipement devra répondre à toutes les fonctionnalités demandées à savoir, un système de trois boucles de recirculation avec filtre amovible et un banc analytique intégré permettant de mesurer les différentes caractéristiques de la chimie avant et après filtration dont un comptage particulaire de taille micrométrique (0,15 μm à 400 μm).

II.1.6)Information sur les lots
Ce marché est divisé en lots: non
II.1.7)Valeur totale du marché (hors TVA)
Valeur hors TVA: 1.00 EUR
II.2)Description
II.2.3)Lieu d'exécution
Code NUTS: FRK24 Isère
II.2.4)Description des prestations:

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de banc de test pour évaluer la performances des filtres utilisés pour les chimies de polissage dans le cadre de ses activités de recherche et développement en microélectronique. Cet équipement aura pour vocation de simuler trois boucles de recirculation de chimie avec trois niveaux de filtrations ayant pour but d’enlever les grosses particules endommageant les circuits. L’équipement devra répondre à toutes les fonctionnalités demandées à savoir, un système de trois boucles de recirculation avec filtre amovible et un banc analytique intégré permettant de mesurer les différentes caractéristiques de la chimie avant et après filtration dont un comptage particulaire de taille micrométrique (0,15 μm à 400 μm).

II.2.5)Critères d’attribution
Critère de qualité - Nom: Configuration circuit fluidique / Pondération: 10
Critère de qualité - Nom: Configuration système analytique / Pondération: 15
Critère de qualité - Nom: Performances procédés / Pondération: 20
Critère de qualité - Nom: Délais / Pondération: 5
Coût - Nom: Prix de l’équipement: / Pondération: 50
II.2.11)Information sur les options
Options: non
II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne
Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non
II.2.14)Informations complémentaires

Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l'équipement sans violer le secret des affaires.

Section IV: Procédure

IV.1)Description
IV.1.1)Type de procédure
Procédure ouverte
IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique
IV.1.8)Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP)
Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui
IV.2)Renseignements d'ordre administratif
IV.2.1)Publication antérieure relative à la présente procédure
Numéro de l'avis au JO série S: 2021/S 032-079046
IV.2.8)Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique
IV.2.9)Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation

Section V: Attribution du marché

Intitulé:

Fourniture d’un banc de test de filtration et analyse de résidus issus de procédés de polissage mécano-chimique

Un marché/lot est attribué: oui
V.2)Attribution du marché
V.2.1)Date de conclusion du marché:
14/06/2021
V.2.2)Informations sur les offres
Nombre d'offres reçues: 1
Le marché a été attribué à un groupement d'opérateurs économiques: non
V.2.3)Nom et adresse du titulaire
Nom officiel: Entegris INC
Adresse postale: 129 Concord Road
Ville: Billerica
Code NUTS: US United States
Code postal: MA 01821
Pays: États-Unis
Le titulaire est une PME: non
V.2.4)Informations sur le montant du marché/du lot (hors TVA)
Valeur totale du marché/du lot: 1.00 EUR
V.2.5)Information sur la sous-traitance

Section VI: Renseignements complémentaires

VI.3)Informations complémentaires:

Modalités de consultation du marché: un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I) du présent avis. La consultation s'effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.

VI.4)Procédures de recours
VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours
Nom officiel: Tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours
Nom officiel: Greffe tribunal administratif de Grenoble
Adresse postale: 2 place de Verdun
Ville: Grenoble
Code postal: 38000
Pays: France
Courriel: greffe.ta-grenoble@juradm.fr
Téléphone: +33 476429000
Fax: +33 476422269
Adresse internet: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.5)Date d’envoi du présent avis:
26/07/2021